涂料工业 ›› 2007, Vol. 37 ›› Issue (2): 26-28.
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朱安峰，毛广秀
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摘要： 利用合成的碱溶性光敏树脂配制成光致抗蚀剂,对固化速率、碱溶性、涂膜表面干燥性、显影和脱膜等进行了研究。结果表明:树脂含量大于70%时,涂膜具有较好的表面干燥性、显影性和脱膜性能;光引发剂含量为5%左右,固化速率较高;50℃超声波下用3%Na2CO3显影2 m in,图象清晰度较高。
关键词: 碱溶性; UV固化材料; 光致抗蚀剂; 显影; 光敏树脂
朱安峰，毛广秀. 碱溶性光敏树脂在光致抗蚀剂中的应用[J]. 涂料工业, 2007, 37(2): 26-28.
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