ArF浸没式光刻胶用抗水涂层研究进展

刊名：涂料工业
月刊 1959年创刊
主管单位：中海油常州涂料化工研究院有限公司
主办单位：中海油常州涂料化工研究院有限公司
出版单位：《涂料工业》编辑部

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ArF浸没式光刻胶用抗水涂层研究进展

郑祥飞, 徐亮, 陈侃, 等

Research and Development of Anti-water Coating in ArF Immersion Photoresist

ZHENG X F, XU L, CHEN K, et al

涂料工业 . 2024, (4): 74 -81 . DOI: 10.12020/j.issn.0253-4312.2023-215